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氟硅酸是一種配位酸，酸性很強0.03mol/L濃度下pH為1.6（不考慮分解，酸性與硝酸相近），若用塑料容器存放，室溫下在稀溶液中穩定，絡離子氟硅酸根（SiF62-）很穩定，六個F的存在以及非常對稱的結構使得負電荷可以很好的分散，使得氟硅酸能夠很好地釋放出氫離子，其鹽類溶解度特殊，鉀鹽與鋇鹽不溶，銣鹽微溶，鈉鹽、鋰鹽和銨鹽可溶，銫鹽，亞鐵鹽極易溶解。受熱分解放出有毒的氟化物氣體。具有較強的腐蝕性。
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